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本設備用于燈管在超高真空環境下的排氣工藝 。
PLC全自動控制,烘箱,中頻線圈,鉛門升降平穩。烘箱,加熱帶溫度監控,多工位高效率生產。射線保護,高低壓分離設計完善,安全可靠。
六工位真空度優于到5×10-6 Pa 八工位真空度優于1×10-6 Pa
烘箱加熱溫度≤500 ℃
溫度誤差±3℃